简介：

等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够

的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发

态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样

品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的.

清洗原理：

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的

情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于

高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分

子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离

子体轰击被清洗产品表面．以达到清洗目的．