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半导体设备静电吸盘（ESC） 修理翻新
翻新要点：
1. 表面平行度
---表面粗糙度
---表面平坦度
2. ESC的漏气检查
3.电容检测
可以修复的机种及尺寸
12英寸盘，8英寸盘，6英寸盘
