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此款CVD系统前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助二维材料蒸发,后端为双温区管式炉,温度控制精确,操作简便。并配质量流量计系统和真空系统,可以准确的反应腔体内部的气体压力和气体流量,对于做低压CVD实验非常实用,重复性好。
硫粉预热器: |
工作温度:400℃ 最高温度:1200℃ 最快升温速率:≤30℃/min 推荐升温速率:10℃/min 控温方式:智能化30段可编程控制 工作电压:AC220V 额定功率:800W 控温精度:±1℃ 加热元件:电阻丝 |
加热区参数:
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额定功率:5kw 最高温度:1200℃ 工作温度:1100℃ 最大升降温速率:≤30℃/min 炉管尺寸:高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm (管径可选) 加热区长度:200+200mm 恒温区长度:290mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。 标准配件:石英管1支,莫来石管堵2对,不锈钢法兰1套,硅胶密封圈2套,高温手套1副,坩埚钩1支; 尺寸:约 550×380×600 mm(炉子) 约:1700×380×620 mm(炉子+滑轨) 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
气路系统参数:
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质量流量计参考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可选) 准确度:±1.5% 线性:±0.5~1.5% 重复精度:±0.2% 响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec 工作压差范围:0.1~0.5 MPa 最大压力:3MPa 接口:Φ6,1/4'' 显示:4位数字显示 工作环境温度:5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管:Φ6 压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀:Φ6 连接头类型:双卡套不锈钢接头。 可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数:
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国产油泵型号:BSV-10 抽速:10m3/h 极限真空度:5*10-1pa 电源:220v 50hz 电机功率:0.4kw 进排气连接口:KF25 用油量:1.1L 电机转速:1440rpm 工作环境温度:5-40℃ 噪音:≤56db 电阻真空计参数: 1.配用规管:ZJ-52T电阻规, 2.测量范围: 10 5 ~10 -1 Pa, 3.测量路数: 1路 4.控制范围: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa, 5.控制方式:继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载, 6.电源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz, 7.功耗: 20W |
使用注意事项
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