供应AerotechABL系列气浮平台
供应AerotechABL系列气浮平台
产品价格:¥\u9762\u8bae(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:北京
  • 品牌:
  • 最小起订量:1
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    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:北京高控科技有限公司

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    商品详情
      产品参数
      品牌Aerotech
      产品特性气浮平台
      是否进口
      产地美国
      加工定制
      产品认证CE
      速度响应频率200KHz
      适用电机Aerotech直线电机
      可售卖地全国
      型号ABL1500

      ????Aerotech?ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台,拥有超 的定位功能,精度在0.2~0.5um之间。

      设计特点

      • 专为 扫描和检查而设计

      • 所有空气轴承表面上的有效空气预载

      • 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率

      • 高刚性,可承受重载,并具有 几何性能

      • 行程达500毫米

      前沿制造业,特别是在半导体和数据存储行业中,要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力,极高的刚度和 几何特性, 为满足这些需求而设计。

      空气轴承设计,实现高动态性能

      ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外,这种设计还可以使平台具有 刚度,非常适合重载或偏载。

      制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应,可限度地提 薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生 螺距,滚动,偏航,直线度和平坦度规格。

      直线电机驱动

      此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力,这意味着零齿槽效应和无吸引力,从而实现了 的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度,代表了功率和性能的结合。

      零维护

      我们的完全非接触式空气轴承,非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的 水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触,所以随着时间的流逝,ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是 的,并且由于没有润滑-只有清洁,干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。

      电缆管理

      我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。万一发生故障,Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便,停机时间 少。我们将所有客户要求的电缆,空气软管等都包含在CMS捆绑包中,以便于集成到 终系统中。两端完全连接,可轻松集成到客户的机器中。

      技术指标

      机械规格

      模型

      ABL1500-050

      ABL1500-100

      ABL1500-200

      旅行

      50毫米

      100毫米

      200毫米

      准确性(1)

      E1

      已校准

      ±0.3微米

      ±0.3微米

      ±0.5微米

      标准

      ±2.0微米

      ±4.0微米

      ±8.0微米

      E3

      已校准

      ±0.2微米

      ±0.2微米

      ±0.4微米

      标准

      ±1.0微米

      ±2.0微米

      ±5.0微米

      重复性

      (双向)(1)

      E1

      ±0.1微米

      ±0.2微米

      E3

      ±0.05微米

      ±0.05微米

      ±0.1微米

      直线度(1)

      ±0.25微米

      ±0.4微米

      ±0.5微米

      平面度(1)

      ±0.25微米

      ±0.4微米

      ±0.5微米

      沥青

      ±0.5弧秒

      ±1弧秒

      ±2弧秒

      ±0.5弧秒

      ±1弧秒

      ±2弧秒

      偏航

      ±0.5弧秒

      ±1弧秒

      ±2弧秒

      速度

      2 m /秒

      加速度

      2克(空载)

      力(连续)

      93.6 N

      载重量(2)

      卧式

      35公斤

      25公斤

      运营压力

      80 psi±5 psig

      耗气量

      24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

      移动质量(空载)

      5.1公斤

      舞台质量

      14.7公斤

      16.0公斤

      18.6公斤

      材料

      MTBF(平均无故障时间)

      30,000小时

      • 通过每个阶段的认证。

      • 列出了轴上加载的轴方向。

      • 规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用,请咨询工厂。

      • 为了防止空气轴承承受负压,建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

      • 供气必须清洁,干燥至0°F露点并过滤至0.25 μm或更高;建议使用纯度为99.9%的氮气。

      • 对于XY配置,上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm,则需要ABL1500WB作为下轴。

      模型

      ABL1500-300

      ABL1500-400

      ABL1500-500

      旅行

      300毫米

      400毫米

      500毫米

      准确性(1)

      E1

      已校准

      ±0.5微米

      ±0.6微米

      ±0.6微米

      标准

      ±12.0微米

      ±16.0微米

      ±20.0微米

      E3

      已校准

      ±0.4微米

      ±0.5微米

      ±0.5微米

      标准

      ±5.0微米

      ±5.0微米

      ±5.0微米

      重复性

      (双向)(1)

      E1

      ±0.2微米

      ±0

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