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QFHDS-XY系列平面式气浮运动台

QFHDS-XY系列平面式气浮运动台

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商品详情

规格指标

型号		单位	QFHDS-300-300		QFHDS-500-500		QFHDS-800-800
轴系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	300	300	500	500	800	800
补偿后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.25		±0.25
	标准值		±0.2		±0.5		±0.5
双向重复定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.075		±0.1
	标准值		±0.1		±0.15		±0.15
直线度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.1		±0.2
	标准值		±0.5		±1		±1
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.2		±0.25		±0.3
	标准值		±0.5		±1		±1
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.5		±1		±1
	标准值		±1		±1.5		±1.5
正交性	Plus ⁽¹⁾	arc sec	2
	标准值		5
电子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（选配）
最大速度 (空载) ⁽⁴⁾		m/s	1
最大加速度 (空载) ⁽⁴⁾		m/s2	5,（10, 20, 30 定制）
最大负载		kg	50

注：

以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。

1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。

2. 取决于平台安装表面的平面度。

3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。

4. 空载条件下指标，最大速度和加速度取决于负载大小。

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