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产品特点
l ? 开式气浮叠层结构 ? 结构紧凑、精度高
l ? 重复定位精度±50nm ? 直线度±0.1μm，平面度±0.15μm
? 根据需求可定制 ? 高柔线缆管理
应用领域
QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业，由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
结构特点
双轴气浮运动台采用开式气浮导轨，直线电机和光栅尺组成，永磁预载结构，XY轴叠层具有体积小，精度高、工作点低等特点，能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽，作为底轴，整体性能更稳定。非接触式气浮结构，免维护运行，随着时间推移，不会出现磨损或性能下降。
精度性能
QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上为全行程精度指标，由于非接触式运动结构，气浮运动台的跟随误差有了质地提升，精度性能得到显著提高。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可提供带屏蔽高柔线缆，提供系统抗干扰能力。
定制化
根据应用，结构可定制化设计，如增加平升或楔形Z轴，转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁，XY轴安装到大理石基座上，Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统，适合高抖动的应用领域。
规格指标
|
型号 |
单位 |
QFL-50XY |
QFL-100XY |
QFL-150XY |
||||
|
轴系 |
— |
X |
Y |
X |
Y |
X |
Y |
|
|
行程 |
mm |
50 |
50 |
100 |
100 |
150 |
150 |
|
|
补偿后定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||
|
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
|||||
|
双向重复定位精度 |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.05 |
|||
|
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
|||||
|
直线度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
|||
|
标准值 |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
|||||
|
平面度 (2) |
Plus (1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
|||
|
标准值 |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 |
|||||
|
Pitch Roll Yaw (2) |
Plus (1) |
arc sec |
±0.35 |
±0.4 |
±0.5 |
|||
|
标准值 |
±1 |
±1 |
±1.5 |
|||||
|
正交性 |
Plus (1) |
arc sec |
5 |
2 |
2 |
|||
|
标准值 |
10 |
5 |
5 |
|||||
|
电子分辨率 (3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||||
|
最大速度 (空载) (4) |
mm/s |
200 |
||||||
|
最大加速度 (空载) (4) |
m/s2 |
1,（5 定制） |
||||||
|
最大负载 |
kg |
10 |
||||||
|
供气压力 (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
